分子式 GaAs
對應标準 其它
标簽 半導體材料
說明 • GaAs單晶是Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體單晶,它繼矽之後的重要半導體材料,其晶體結構為閃鋅礦型,晶格常數為5.6419 Å。在固态時,其密度為5.3 g/cm³,而在熔點時的液态密度為5.72 g/cm³。砷化镓(GaAs)熔點1238℃時離解壓為0.097 MPa,在常壓條件下能夠生長出大尺寸的單晶。
• 目前,生長GaAs單晶的主要方法包括水平布裏奇曼(HB)法和液封直拉(LEC)法。這兩種方法均可制備重量超過10 kg、直徑達100 mm(甚至更大)的晶體。水平布裏奇曼法是目前生產GaAs單晶的主流技術,其優點是生長出的單晶位錯密度較低,化學配比易于控制,且設備相對簡單。然而,該方法無法直接生長出圓柱形單晶和非摻雜半絕緣單晶。相比之下,液封直拉法更适合生長非摻雜半絕緣單晶和圓柱形單晶,且生長速度較快,但其位錯密度相對較高。
• 近年來,垂直梯度凝固(VGF)法因其能夠制備出圓柱形、低缺陷密度的單晶而受到廣泛關注。GaAs具有直接帶隙結構,有衛星能谷,這使得其電子遷移率較高,且容易實現半絕緣特性。這些特性使得GaAs在光電器件、光電集成、微波器件以及超高速集成電路等領域具有重要應用價值。許多基于GaAs的器件,如發光二極管(LED)、激光二極管(LD)、金屬半導體場效應晶體管(MESFET)、高電子遷移率晶體管(HEMT)和集成電路(IC)等,均已實現商業化生產。
• 此外,GaAs作為太陽能電池材料,具有比矽更高的光電轉換效率和更強的抗輻射能力,因此被認為是一種極具潛力的空間能源材料。
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