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基本信息
牌号 GaAs-LEC-P(Zn)-<100>
對應标準 GB T 30856-2014
LED外延芯片用砷化镓襯底
GaAs Substrates for LED Epitaxial Chips
标簽 直拉砷化镓單晶襯底
說明 ◎ 該牌号是砷化镓GaAs單晶襯底的牌号。牌号由四部分組成，中間用“-”隔開。
• 示例：GaAs-LEC-P(Zn)-<100>，
• 牌号中GaAs為第一項用分子式表示單晶的名稱；
• 牌号第二項表示單晶的生產方法，LEC為液封直拉法；
• 牌号第三項用N或P表示導電類型，括号内符号表示摻雜劑，液封直拉(LES)砷化镓單晶有不同摻雜濃度的P型（一般摻雜Zn）、N型（一般摻雜Te）、半絕緣I型（非摻雜或摻Cr）材料。
• 牌号第四項為用密勒指數表示晶向，示例牌号中<100>
• LEC GaAs單晶制備工藝特點是生長速度較快，易于直接拉制出所需晶向的圓柱形單晶，其位錯密度一般為104個/平方厘米
◎ 砷化镓襯底牌号的表示按GB/T 14844。
◎ 本标準适用于LED外延芯片用的砷化镓單晶襯底。

  • 電學性能

    序号項目要求 
    np
    1電阻率/(Ω·cm)0.01～1×10-30.1～3×10-3
    2遷移率/[cm2/(V·s)]≥1 000≥40
    3載流子濃度/cm-31×1017～4×10185×1017～5×1019

  • 位錯密度；取向、形狀和尺寸及允許偏差

    表2-位錯密度
    項目要求
    Φ50.8mmΦ76.2mmΦ100mmΦ150mm
    位錯密度/(個/cm2)≤2×103​​​​​​≤4×103≤5×103≤1×104
    注：當客戶對晶體位錯密度參數和位錯類型及分布有特殊要求時，由供需雙方在合同中确定。
    表3-表面晶向和晶向偏離
    砷化镓襯底的表面晶向為<100>，晶向偏離不大于0.5°（當客戶對晶向參數有特殊要求時，由供需雙方在合同中确定。）

    表4-Φ50.8mm、Φ76.2mm、Φ100mm砷化镓襯底參考面的取向、形狀和尺寸

    參數項目要求
    參考面選擇V型槽燕尾槽
    主參考面取向

    [011]±0.5°屬于1個砷面，

    主參考面垂直于V型槽

    [011]±0.5°屬于1個镓面，

    主參考面垂直于燕尾槽

    副參考面取向從主參考面逆時針轉90°±5°從主參考面順時針轉90°±5°
    規格Φ50.8mm(Φ2'')Φ76.2mm(Φ3'')Φ100mm(Φ4'')-
    主參考面長度16mm±1mm22mm±1mm32mm±1mm-
    副參考面長度8mm±1mm11mm±1mm18mm±1mm-
    表5-Φ160mm(Φ6'')砷化镓襯底參考面的取向、形狀和尺寸
    項目要求

    參考面切口位置取向、

    形狀和尺寸

    		取向  深度/mm開角/(°C)-
    [010]±2°

    1（+0.25，0）*

    		90（-3，-1）*-
    *（）上下偏差
    表6-外形尺寸
    項目要求
    Φ50.8mm(Φ2'')Φ76.2mm(Φ3'')Φ100mm(Φ4'')Φ150mm(Φ6'')
    直徑及允許偏差/mm50.8±0.276.2±0.2100±0.2150±0.2
    厚度及允許偏差/μm(280~500)±15(400~600)±20(400~650)±25(400~700)±25
    總厚度變化 TTV/μm≤12≤15≤18≤20
    平整度 TIR/μm≤6≤8≤10≤10
    翹曲度 Warp/μm≤12≤15≤20≤25
    注：客戶對外形幾何尺寸有其他特殊要求時，雙方協議後在合同中簽訂。

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摘要 / Summary
GaAs-LEC-P(Zn)-<100> 材料牌号數據，對應标準：GB T 30856-2014，◎ 該牌号是砷化镓GaAs單晶襯底的牌号。牌号由四部分組成，中間用“-”隔開。 • 示例：GaAs-LEC-P(Zn)-， • 牌号中GaAs為第一項用分子式表示單晶的名稱； • 牌号第二項表示單晶的生產方法，LEC為液封直拉法； • 牌号第三項用N或P表示導電類型，括号内符号表示摻雜劑，液封直拉(LES)砷化镓單晶有不同摻雜濃度的P型（一般摻雜Zn）、N型（一般摻雜Te）、半絕緣I型（非摻雜或摻Cr）材料。 • 牌号第四項為用密勒指數表示晶向，示例牌号中 • LEC GaAs單晶制備工藝特點是生。
推薦引用：材數庫 Caishuku Material Database， 《GaAs-LEC-P(Zn)-<100> 材料牌号數據》， https://www.caishuku.com/material/detail.php?mid=azhlNWIxMjkxOTY=
GaAs-LEC-P(Zn)-<100> 的供應商信息由材數庫認證企業提供。 本頁面展示的企業均為材數庫認證供應商， 企業名稱、聯系人、聯系方式、 主營產品及供貨信息由企業提交， 經材數庫審核後發布并持續維護。
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